Hauptinhalt

FIB-REM JEOL JIB-4601F

Ausstattung

  • Gallium-Ionen-Quelle 
  • Gas-Injektions-System (W und C)
  • Kleindiek Mikro-Manipulator

Detektoren

  • Secondary Electron Detektor
  • Backscattered Electron Detektor
  • Bruker EDX Detektor