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Plasma-FIB-REM Helios 5 Hydra CX

Ausstattung

• Multi-Ionen Plasma-Quelle (Xe, Ar, N, O)
• Multichem Gas-Injektions-System (W, Pt, C und Mix)
• Cryo-Stage (austauschbar)
• Clean Connect Inert Gas und Vakuum Transfer Shuttle
• Stage Bias und Strahl-Entschleunigung bis 4000 V
• Ladungsneutralisation (Flood gun)
• Hoher Strahlstrom Prozessierung (60 nA bis 200 nA) mit Shutter
• Auto-Slice and View (ASV) 3D Tomographie
• Sauerstoff Plasma Cleaner
• Easylift drehbarer NanoManipulator (Compucentric)
• Nav-Cam Navigation Camera

Detektoren

• ETD (Everhart-Thornley Detector): SE / BSE / SI
• ICE (Ion Conversion and Electron Detector): SE / BSE / SI
• TLD (Through Lens Detector): SE / BSE /SI
• ICD (In Column Detector): BSE / SE
• ABS/CBS (Directional Backscattered Detector): BSE
• STEM (Annular STEM): TE
• Tof-SIMS (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer)
• EDX Detektor 100 mm^2

Zubehör

• Großer Halter für multiple Proben
• Rocking Polish Halter
• Pre-tilted Shuttles für FIB Lift-out (0°, 52°, 45°)
• Cryo-Shuttles